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氮气烘箱 半导体晶圆芯片坚膜烘箱

发布日期:2021-01-26 12:35:42 作者:admin 点击:574

净化烘箱百级千级无尘净化烘箱 半导体封装烘箱

适用于新材料高温无氧真空状态下工作.高温退火.高温干燥处理,汽车行业 半导体光电元器件 .光电半导体制程

无尘净化烘箱是指使用耐高温高效过滤器往复循环的过滤空气中的颗粒物,逐步净化烘箱工作室内的颗粒物数量,来满足工艺的需求,确保产品的品质。工艺的需求不同,对环境颗粒物数量的要求也不相同,按等级可以分为千级和百级。多使用在半导体微电子封装,新材料的测试及显示基板等工艺上。采用新进的钣金焊接加工技术,结合工业级智能精密控温技术,采用环保节能设计,进口耐高温过滤器,设备密封性好、机械强度高、高洁净度、易操控、高稳定性、安全性,符合标准化整体式结构箱体;具有操作简便、控制系统自动化程度高、系统运行稳定、无故障运行时间长等优点。


采用耐高温高效过滤器,过滤等级(99.95% -99.99% @0.3um)。配置进口耐高温超细纤维芯材,连续耐温300℃,不锈钢外框,铝箔隔层,进口高温陶瓷胶密封。门边框配置玻璃纤维耐高温密封条。当设备开启,热风循环系统启动,热风循环通过高效过滤器H.E.P.A实现箱内自净化。绝热保温材料使用100mm厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。使用进口温度控制器,控温精度0.3级,温度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自动恒温,超温抑制,N2L过量报警,传感器断线警报,断电记忆,控温精准,操控简便,可选程序控温功能或液晶屏幕显示。


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