快速升降温 鼓风真空烤箱—半导体行业

产品用途：

新款鼓风真空循环烤箱，升温降温可控，实时监测控制氧含量浓度PPM级，真空度负压微风循环可调风机转速，自主研发全套PLC控制系统

技术参数：

内胆尺寸:470*450*450 (宽*深*高)  

温度范围:RT+10~200℃

温度波动度:0.2℃

升温速率:室温~150℃/30min

降温速率:150C~60℃/30min

真空度:极限 100Kpa~0.1KPa 绝压型

抽气速率:0.2KPa/5min

真空泄漏率:24h/0.7kpa

真空度释放:5~15min 手动可调，破真空可切换氮气或压缩空气

氧浓度测试范围:1ppm到25% （进口耐压耐高温氧化锆传感器）

电压:380V/50HZ

功率:5.5KW

氮气流量:10~100L/min

隔板:3 块(每层隔板最大承重 20KG)

 备注：我司可根据您的实际使用要求定制加工适用的设备，具体要求请咨询我司技术销售人员。

产品特点：

  *采用PLC 触摸屏，内加热快速升温，及冷却管道快速降温系统，数字压力传感器，真空系统采用德国莱宝油泵，

   氧含量浓度实时检测，设计独立正压实时监控防止热膨胀和进入氮气过量膨胀保护系统，连接设计的电磁阀释放气体，

    从而有效的保护使用安全性。

  *操作控制例如:触摸屏控制温度接触器运行，抽气运行，放气自动，温度与真空度分段循环设置，先真空度达到与氧气浓度

   到达后保持再氮气破真空后温度升温再保持、加热运行启动 风机运行使箱内温度更均匀。 

  *设备结构：一体式设计，腔体在上部，腔体内有循环风机加热管，冷却管道风道板，仪表在中部，底部真空

  工作室材料:内胆不锈钢拉丝板

  *抽气结构：无缝连接316不锈钢波纹管，不锈钢压差阀，氮气减压阀与流量计，抽气过滤，真空泵排气油雾过滤器

  *保护系统：数字独立限温保护，接地保护，漏电保护，真空泵过热保护，风机循环电机过载保护。

 详细参数请咨询我司技术销售人员。